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每次通過圖像處理computer計算現有MARK和MARK的距離,通過XY平臺一次補正到位(+/-2um以內)后進行加工
 
直線電機工作平臺,利用直線電機直接帶動工作臺,動子部分的能量直接作用于工作平臺上,中間無傳動結構,因此,避免了傳統上獲得直線運動的結構方式,如絲杠螺母機構、齒輪齒條機構、皮帶驅動結構等,這些中間傳動機構通常都有機構復雜、傳動間隙大、摩擦力大、傳動效率低、精度、速度和加速度都較小的問題。
 
直線電機驅動的工作平臺避免了上述缺點,容易獲得高的速度、加速度,結構簡單、無摩擦、傳動效率高,同時可以提供較傳統方式高得多的性能指標,如長行程(模塊化生產,行程可根據需要任意搭接)、高精度(最大定位精度達納米級)等特點,適合于傳統形式不能解決的長行程高精度高速度等精密直線運動的場合。

璟豐機電研制和生產的直線電機工作平臺具有多項自己的獨創,應用廣泛,根據相應設置亦可實現兩軸或多軸直線運動。

應用行業
 
直線電機直接驅動的X-Y平臺系統,以其快速的響應、準確的定位和高可靠性而廣泛應用于
高速自動化設備、精密測量系統、電子與半導體加工設備,激光加工設備等領域。
 
在高校行業:
主要適用于機械自動化、機電一體化等專業的教學,以及直線電機運動控制方面的研究,是現代控制研究不可缺少的實驗裝備
 
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